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Creative & Innovative

Plasma CVD System

鞄本生産技術研究所

      Creative & Innovative PECVD

 

 

             Jpel is a manufacturer

             of plasma CVD system

             dedicated for

             specialized device

             such as LED, power

             device and

             Compound sensors,

             where hightly qualified

             film deposition is

             essential.

      Creative & Innovative PECVD

 

 

High Spec LED                                        Smart Phone

・Head Light                                              ・Save Device

・Deep-UV LED                                       ・Sensors

 

                                                                         JPEL has plenty of

                                                                         sales results for

                                                                         production model of

Car Electronics                                      PE-CVD system used

・Power Drive                                          for there kinds of

・Sensors                                                    unique application.

 

Creative & Innovative PECVD

 

JPEL's PE-CVD system realizes

excellent reproducibility and has a

wide range of process windows.

 

 

 

 

 

                                                         Thus, it is suitable for processes

                                                         which are difficult to achieve by other

                                                         competitive tools.

 

 

 

        Creative & Innovative PECVD

 

 

 

 

 

 

 

        Please contact us if you have any requests

        for deposition of better thin film quality and characteristics.

        JPEL's is always ready to offer you opportunities to

        evaluate film performance by using our demo unit.

    株式会社 日本生産技術研究所はプラズマCVDを主力とする半導体装置の製造メーカーです。
    お客様とのコミュニケーションを大切にし、お客様のニーズを実現する技術の革新を目指しています。
    特に複雑な構造のデバイスや低温プロセスが必要な特殊基板、低ストレスで緻密な成膜等、高度なプロセス(化合物半導体/光導波路/MEMS等)を必要とするご相談を多数頂いております。  また、地球環境保全に貢献するために、太陽光発電分野及び、低消費電力で期待されているLEDの製造分野に積極的に取り組んでおります。

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極薄ウエハへの成膜

搬送系の取り扱いに注意が必要

化合物系ウエハへの成膜

サーマルショック等で破損し易い

低温(100℃〜)での成膜

特殊基板への成膜

低D/R(5nm/min)での成膜

耐湿性/耐絶縁性に優れた成膜

ストレスコントロール

低ストレスで緻密な成膜

球体への成膜

独自の機構により球体全面に均一な成膜


その他、成膜に関するご相談がありましたら、是非ご連絡下さい。

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