ＪＰＥＬの歩み

　　　　　　　  1969年　　　　半導体用製造装置メーカとして設立
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　・レジスト塗布・現象装置
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　・エピタキシャル成長装置
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　・医療用電子機器

　　　　　　　  1976年　　　　LP-CVD装置VDR-500生産開始

　　　　　　　  1980年　　　　PE-CVD装置VDS-2010生産開始

　　　　　　　  1981年　　　　国産初の量産型PE-CVD装置VDS-5000生産開始

　　　　　　　  1982年　　　　インタラインタイプﾟの連続式PE-CVD装置VDS-6000生産開始

　　　　　　　  1984年　　　　VDS-6000の高スループットタイプVDS-7000生産開始

　　　　　　　  1986年　　　　VDS-5000の後継モデルVDS-5500/5600生産開始

　　　　　　　  1990年　　　　液体ソースCVD装置MRS-2000シリーズ生産開始

　　　　　　　  1991年　　　　急速加熱型RT-CVD装置MRS-5000シリーズ生産開始

　　　　　　　  1994年　　　　マルチチェンバータイプのPE-CVD装置VDS-5800DU生産開始

　　　　　　　  2000年　　　　VDS-5800DUのシングルチェンバータイプVDS-5800SN生産開始

　　　　　　　  2004年　　　　コンパクトタイプPE-CVD装置VDS-5800SNC生産開始

　　　　　　　  2007年　　　　300㎜ｳｴﾊ対応量産型PE-CVD装置VDS-5900の生産開始

　　　　　　　  2008年　　　　SolarCell用反射防止膜成膜装置を開発
　　　　　　　　　　　　　　　　　VDS-5800SNCシリーズの追加モデル生産開始

　　　　　　　  2010年　　　　VDS-5800Seriesの追加Modelを開発、生産開始

　　　　　　　  2012年　　　　Solar Cell量産用PE-CVD装置SJP-3000生産開始
　　　　　　　　　　　　　　　　　ＬＥＤ量産/Power Device R&D用PE-CVD装置VDS-5700を開発、生産開始