製品のラインアップ

Plasma  CVD  System

　　　　

　　　  装置型式　　　　　　　　　　　　成膜膜種　　　　　　　　　　　　　　ｳｴﾊｻｲｽﾞ　　　　　　　　　目　的

　　　VDS-5800SNC　　　　　　　 SiN/SiO2/SiON/a-Si/TEOS/PSG/BPSG　　　　〜150mm　　　　　　R&D、量産試作、量産ライン

　　　VDS-5800SNC-L　　　　　　 SiN/SiO3/SiON/a-Si/TEOS/PSG/BPSG　　　　〜200mm　　　　　　量産ライン

　　　VDS-5700　　　　　　　　　 SiN/SiO5/SiON/a-Si/TEOS/PSG/BPSGG　　　〜150mm　　　　　　 R&D、大学等研究機関