技術サポート

技術的なお問い合わせ

装置ついてご不明な点がありましたら、何なりとご連絡ください。

製品情報の詳細

先ずはお電話ください。装置の導入ご希望のお客様には当社スタッフがご説明にお伺いする事も可能です。

ご使用中の性能向上

　　スループット向上
　　ウエハサイズの変更／兼用
　　高周波電源周波数の変更
　　プロセスガスラインの追加

こんな事はできますか？　などお気軽にお問い合わせください。

定期点検・オーバーホール

当社では１回／１年の定期点検を推奨しております。
詳細内容につきましては、お客様と事前協議をおこない、簡易点検からフルオーバーホールまで柔軟に対応させていただきます。

カスタム機の製作

カスタム機、試作装置、実験装置の製作についてお困りの事がありましたら、お気軽にお問い合わせください。
当社のこれまでの経験と培った技術でご協力させて頂きます。
CVD装置以外の工程でも、手動で行っている工程の自動化なども検討させて頂きます。